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問答題簡述鋁的結(jié)穿刺現(xiàn)象及解決方法。

1.問答題簡述鋁互連的優(yōu)缺點。

2.問答題簡述高能離子轟擊的內(nèi)容。

3.問答題簡述電鍍的優(yōu)缺點。

優(yōu)點：非常好的間隙填充能力，成本低、溫度低。
缺點：需要導電種子層，控制復雜。

4.問答題簡述濺射的優(yōu)缺點。

優(yōu)點：①臺階覆蓋能力好；②能沉積金屬合金；③能進行原位濺射刻蝕。
缺點：濺射速率低，金屬膜含氬。

5.問答題簡述蒸發(fā)的優(yōu)缺點。

優(yōu)點：①成膜速率高（能蒸發(fā)5微米厚的鋁膜）；②金屬膜純度高。
缺點：①臺階覆蓋能力差；②不能沉積金屬合金。