單項選擇題恒定表面源擴散的雜質分布在數(shù)學上稱為什么分布？（）

A.高斯函數(shù)
B.余誤差函數(shù)
C.指數(shù)函數(shù)
D.線性函數(shù)


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1.單項選擇題從離子源引出的是：（）

A、原子束
B、分子束
C、中子束
D、離子束

4.多項選擇題硅外延片的應用包括（）。

A.二極管和三極管
B.電力電子器件
C.大規(guī)模集成電路
D.超大規(guī)模集成電路

5.多項選擇題硅外延生長工藝包括（）。

A.襯底制備
B.原位HCl腐蝕
C.生長溫度，生長壓力，生長速度
D.尾氣的處理