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問(wèn)答題解釋擴(kuò)散系數(shù)及其物理含義，并說(shuō)明影響擴(kuò)散系數(shù)的主要因素是什么，及如何影響？

1.問(wèn)答題說(shuō)明雜質(zhì)在晶圓中的擴(kuò)散機(jī)制及主要特點(diǎn)，并各舉一例。

2.問(wèn)答題什么是擴(kuò)散？并說(shuō)明擴(kuò)散的兩個(gè)基本條件？按材料的形態(tài)劃分，擴(kuò)散有那幾種基本形式？工藝中的高溫?cái)U(kuò)散屬于哪一種？

擴(kuò)散，是一種材料通過(guò)另一種材料的運(yùn)動(dòng)。
擴(kuò)散的兩個(gè)必要條件：濃度差，過(guò)程所需要的能量。
固態(tài)，液態(tài)，氣態(tài)擴(kuò)散。
屬于固態(tài)擴(kuò)散。

3.問(wèn)答題列出半導(dǎo)體制造中四種常見(jiàn)的雜質(zhì)，并說(shuō)明摻雜后相應(yīng)的半導(dǎo)體硅的導(dǎo)電類(lèi)型。

硼：P型；
磷，砷和銻：N型

4.問(wèn)答題半導(dǎo)體工藝中是如何形成PN結(jié)的？什么是結(jié)深？

5.問(wèn)答題摻雜的主要目的是什么？給出硅片制造中的三種主要摻雜應(yīng)用。