問答題說明氧化氣氛對擴(kuò)散有何影響及原因？

參考答案： 與中性氣氛相比，在熱氧化氣氛中進(jìn)行的擴(kuò)散，雜質(zhì)的擴(kuò)散系數(shù)和濃度分布均發(fā)生變化。由于氧化導(dǎo)致自間隙硅原子的產(chǎn)生，故對于硼，...