問答題列出氧化硅的五種主要物理參數(shù)，并說明實際中如何測試氧化層厚度。

參考答案：

密度，折射率，電阻率，介電強度，（相對）介電常數(shù)。
實際中可用折射率，介質(zhì)強度和介電常數(shù)來測量。