問答題采用提拉法（CZ法，切克勞斯基法）和區(qū)熔法制備的硅片，哪種方法質(zhì)量更高，為什么？那么目前8英寸以上的硅片，經(jīng)常選擇哪種方式制備，為什么？

參考答案：

區(qū)熔法制備的硅片質(zhì)量更高，因為含氧量低。
8英吋以上的硅片，選擇CZ法制備，晶圓直徑大。