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問答題硅柵工藝有哪些優(yōu)點(diǎn)？

自對準(zhǔn)無需重疊設(shè)計(jì)減小了電容提高了速度減小了柵、源、漏極尺寸增加集成度；增加電路可靠性

1.問答題什么是自對準(zhǔn)技術(shù)？

將兩次MASK步驟合為一次，讓D，S和G三個(gè)區(qū)域一次成形

2.問答題鋁柵重疊設(shè)計(jì)方法雖然可解決鋁柵MOS工藝的缺點(diǎn)，但還存在哪些缺點(diǎn)？

CGS、CGD都增大了；柵極增長，管子尺寸變大，集成度降低。

3.問答題鋁柵MOS工藝的缺點(diǎn)是什么？

制造源、漏極與制造柵極采用兩次掩膜步驟，不容易對齊

4.問答題MOS工藝包括有哪幾種？MOS工藝的重要參數(shù)是什么？什么是特征尺寸？

PMOS、NMOS、COMS、BiCMOS
溝道載流子特性、柵極材料、金屬層數(shù)、特征尺寸工藝可以實(shí)現(xiàn)的平面結(jié)構(gòu)的最小尺寸

5.問答題與Si三極管相比，MESFET和HEMT存在哪些缺點(diǎn)？

（1）跨導(dǎo)相對低；
（2）閾值電壓較敏感于有源層的垂直尺寸形狀和摻雜程度；
（3）驅(qū)動電流??；
（4）閾值電壓變化大。