問答題離子注入機(jī)的主要部件以及它們的主要任務(wù)分別是什么？

參考答案： （1）離子源，離子源的任務(wù)是提供所需的雜質(zhì)離子；
（2）質(zhì)量分析器，對(duì)從離子源出來的離子進(jìn)行篩選；
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