問答題根據(jù)氧化物的生長規(guī)律,試說明熱氧化生長過程中的兩個(gè)主要階段,并說明它們分別位于氧化生長過程中的哪一時(shí)段,各自的生長模型和規(guī)律以及反映生長速率的參數(shù)和影響該參數(shù)的主要因素是什么?

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