問答題試說明什么是LOCOS和它的主要作用以及該工藝的主要步驟,并說明該工藝存在的主要問題和解決方法。
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自由電子是載流子,空穴不是。
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發(fā)射區(qū)推進效應
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試說明半導體制造中擴散工藝的主要目的。列出并解釋實際擴散工藝的主要步驟,并說明個步驟的主要作用和工藝溫度。
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因電場作用所產生的運動稱為擴散運動。
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什么是擴散的相互作用?試舉一例說明其對半導體器件的制造有何影響及其產生的原因。
題型:問答題