問答題什么是硅化物？難熔金屬硅化物在硅片制造業(yè)中重要的原因是什么？

參考答案： 硅化物是難熔金屬與硅反應(yīng)形成的金屬化合物，是一種具有熱穩(wěn)定性的金屬化合物，并且在硅/難熔金屬的分界面具有低的電阻率。