最新試題
解釋掃描投影光刻機是怎樣工作的?掃描投影光刻機努力解決什么問題?
例舉離子注入工藝和擴散工藝相比的優(yōu)點和缺點。
解釋光刻膠顯影。光刻膠顯影的目的是什么?
例出光刻的8個步驟,并對每一步做出簡要解釋。
描述化學(xué)機械平坦化工藝。
例舉并描出旋轉(zhuǎn)涂膠的4個基本步驟。
什么是硅化物?難熔金屬硅化物在硅片制造業(yè)中重要的原因是什么?
敘述氮化硅的濕法化學(xué)去除工藝。
刻蝕工藝有哪兩種類型?簡單描述各類刻蝕工藝。
在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么?