問答題二氧化硅薄膜在集成電路中具有怎樣的應(yīng)用？

參考答案： ①器件保護(hù)（避免劃傷和污染），因sio₂致密；
②表面鈍化（飽和懸掛鍵，降低界面態(tài)；需一...