多項選擇題ULVAC 的RF 電源使用的高頻是()。
A.12.5Mhz
B.30Mhz
C.13.56Mhz
D.27.12Mhz
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1.多項選擇題檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是()。
A.靈敏度校正
B.檢漏儀性能確認(rèn)
C.壓力確認(rèn)
D.漏率檢測
2.多項選擇題RF 電源適用的設(shè)備是()。
A.CVD
B.EtChing
C.Ashing
D.Cleaning
3.多項選擇題RF電源故障解析:同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運行時會發(fā)生哪些異常()?
A.放電不穩(wěn)定
B.匹配不穩(wěn)定
C.Pr 殘存
D.成膜慢
4.多項選擇題下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有()。
A.RF 電源
B.DC 電源
C.MF 電源
D.EB 電源
5.多項選擇題下列屬于熱陰極電離真空計的是()。
A.ST 系列
B.SH 系列
C.SW 系列
D.SP 系列
最新試題
使用氦氣檢漏的原因是()。
題型:多項選擇題
定期應(yīng)該對變頻器進行除塵,重點是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器()。
題型:單項選擇題
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題型:多項選擇題
對于影響成膜的異常放電發(fā)生時,關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是()。
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檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是()。
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下列屬于熱陰極電離真空計的是()。
題型:多項選擇題
弧焊機器人的焊接設(shè)備主要是由()組成。
題型:多項選擇題
離子濺射泵的特點是什么()?
題型:多項選擇題
應(yīng)用在真空中的各式材料包括()。
題型:多項選擇題