問(wèn)答題說(shuō)明水汽氧化的化學(xué)反應(yīng)，水汽氧化與干氧氧化相比速度是快還是慢？為什么？
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定義刻蝕選擇比。干法刻蝕的選擇比是高還是低？高選擇比意味著什么？
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光學(xué)光刻中影響圖像質(zhì)量的兩個(gè)重要參數(shù)是什么？
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