問(wèn)答題微電子器件的特征尺寸繼續(xù)縮小的關(guān)鍵技術(shù)有哪些？

參考答案： 第一個(gè)關(guān)鍵技術(shù)層次：微細(xì)加工；
第二個(gè)關(guān)鍵技術(shù)：互連技術(shù)；
第三個(gè)關(guān)鍵技術(shù)：新型器件結(jié)構(gòu)，新型材料體...