問答題氣體直流輝光放電分為哪幾個(gè)區(qū)？其中輝光放電區(qū)包括哪幾個(gè)區(qū)？濺射區(qū)域選擇在哪個(gè)區(qū)？

參考答案： 分為暗流區(qū)，湯生放電區(qū)，輝光放電區(qū)，電弧放電區(qū)。
輝光放電區(qū)分為
c-d：前期輝光放電區(qū)
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