問答題解釋說明自對準柵工藝流程,為什么當(dāng)圖形化尺寸小到0.18um時,使用鈷硅化物取代鈦硅化物?為什么當(dāng)圖形化尺寸小到65nm時,使用鎳硅化物取代鈷硅化物?

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