問答題光刻的作用是什么？列舉兩種常用曝光方式。

參考答案： 光刻是集成電路加工過程中的重要工序，作用是把掩模版上的圖形轉(zhuǎn)換成晶圓上的器件結(jié)構(gòu)。
曝光方式：接觸式和非接觸式。