問答題

下圖是硅烷反應(yīng)淀積多晶硅的過程，寫出發(fā)生反應(yīng)的方程式，并簡述其中1～5各步的含義。

參考答案： （1）反應(yīng)氣體從腔體入口向晶圓片附近輸運；
（2）這些氣體反應(yīng)生成系列次生分子；
（3）這些反應(yīng)物輸...