問答題例舉出兩種光刻膠顯影方法。例舉出7種光刻膠顯影參數(shù)。

參考答案：

連續(xù)噴霧顯影、旋覆浸沒顯影。
顯影溫度，顯影時間，顯影液量，硅片洗盤，當量濃度，清洗，排風。