填空題雜質(zhì)原子（或離子）在半導(dǎo)體晶片中的擴散機構(gòu)比較復(fù)雜，但主要可分為兩種機構(gòu)：替位式擴散和（）式擴散。
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2.填空題負膠適于刻蝕（）（細/粗）線條。
5.單項選擇題
下面選項屬于主擴散的作用有（）。
1.調(diào)節(jié)表面濃度
2.控制進入硅表面內(nèi)部的雜質(zhì)總量
3.控制結(jié)深
A.1
B.2
C.3
D.1、3
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