多項選擇題新的平坦化方法有哪幾個？（）

A.固結(jié)磨料CMP技術(shù)
B.無磨粒CMP技術(shù)
C.無應(yīng)力拋光技術(shù)
D.電化學機械平坦化技術(shù)


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1.多項選擇題光刻工藝對準誤差包括（）。

A.上下偏移
B.X或Y方向的平移
C.轉(zhuǎn)動
D.套準誤差

2.多項選擇題光刻工藝的特點包括（）。

A.決定特征尺寸的關(guān)鍵工藝
B.光刻與芯片的價格和性能密切相關(guān)
C.光刻工藝過程復(fù)雜
D.復(fù)印圖像和化學作用相結(jié)合的綜合性技術(shù)

3.單項選擇題光刻工藝的設(shè)備核心是（）。

A.掩膜版
B.對準和曝光
C.光刻機
D.光刻膠

4.單項選擇題進行光刻工藝前的清洗步驟是（）。

A.堿溶液清洗
B.有機溶液清洗
C.HF結(jié)尾的清洗工藝
D.去離子水沖洗

5.多項選擇題刻蝕過程中聚合物形成的來源有（）。

A.光刻膠
B.Si襯底
C.刻蝕氣體中的碳和其它物質(zhì)組成的化合物
D.刻蝕溶液