判斷題在LPCVD中,由于hG>>kS,即質(zhì)量轉(zhuǎn)移系數(shù)遠(yuǎn)大于表面反應(yīng)速率常數(shù),所以,LPCVD系統(tǒng)中,淀積過(guò)程主要是質(zhì)量轉(zhuǎn)移控制

您可能感興趣的試卷

你可能感興趣的試題

4.名詞解釋歐姆接觸