問答題簡述電子束曝光的特點(diǎn)

參考答案： 1）優(yōu)點(diǎn)：分辨率比光學(xué)曝光高；無需光刻板；曝光自動(dòng)化，加工精度高；在真空中進(jìn)行；可直接觀察曝光的質(zhì)量。
2）缺...