單項(xiàng)選擇題Liner barrier阻擋金屬間擴(kuò)散作用的金屬是（）。

A.金屬Al
B.金屬鈦
C.金屬氮化鈦
D.金屬鎢


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1.單項(xiàng)選擇題摻氯氧化使用的HCL是（）。

A.液態(tài)源
B.固態(tài)源
C.氣態(tài)源

3.單項(xiàng)選擇題以下哪項(xiàng)不是STI工藝氣體？（）

A.SiH4
B.O2
C.N2O
D.Ar

4.單項(xiàng)選擇題CMP清洗部分的順序是（）。

A.兆聲清洗（Meg）-SRD（甩干）-Brush（刷洗）
B.兆聲清洗（Meg）-Brush（刷洗）-SRD（甩干）
C.Brush（刷洗）-兆聲清洗（Meg）-SRD（甩干）
D.Brush（刷洗）-SRD（甩干）-兆聲清洗（Meg）

5.單項(xiàng)選擇題高電流注入機(jī)的掃描方式為（）。

A.靜電掃描
B.機(jī)械掃描
C.靜電掃描與機(jī)械掃描結(jié)合