(1)擦洗表面的大塊污物;(2)浸泡;(3)化學(xué)腐蝕;(4)水清洗;(5)干燥。
①金屬-絕緣體-金屬(MIM)結(jié)構(gòu); ②多晶硅/金屬-絕緣體-多晶硅結(jié)構(gòu); ③金屬叉指結(jié)構(gòu); ④PN結(jié)電容; ⑤MOS電容。