問答題例出光刻的8個(gè)步驟，并對(duì)每一步做出簡要解釋。

參考答案： 第一步：氣相成底膜處理，其目的是增強(qiáng)硅片和光刻膠之間的粘附性。
第二步：旋轉(zhuǎn)涂膠，將硅片被固定在載片臺(tái)上，一定數(shù)...