問答題微電子器件對接觸和互連有什么要求？獲得良好歐姆接觸的方法有哪幾種？

參考答案： 對接觸和互連有的基本要求有：
1）能形成良好的歐姆接觸；
2）互連材料具有低的電阻率和良好的穩(wěn)定性；...