問答題描述投影掩膜版和光掩膜版的區(qū)別？

參考答案： 投影掩膜版它包括了要在硅片上重復生成的圖形。這種圖形可能僅包含一個管芯，也可能是幾個光掩膜版通常稱為掩膜版，包含了對于整...