單項選擇題封裝工藝中,銀漿固化的溫度為()。
A.190度
B.157度
C.180度
D.175度
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1.多項選擇題互連工藝中AL的制備可選用()。
A.電鍍
B.CVD
C.MBE
D.PVD
2.多項選擇題金屬化中可選用的金屬材料有()。
A.銀
B.金
C.鋁
D.銅
3.單項選擇題進行溝槽填充常用的金屬材料是()。
A.銅
B.鋁
C.鎢
D.金
4.單項選擇題化學機械拋光液的主要成分不包括的是哪個?()
A.還原劑
B.分散劑
C.腐蝕介質
D.磨料
5.多項選擇題CMP的設備構成包括()。
A.臺板
B.拋光液
C.拋光墊
D.夾持設備