單項選擇題以下磷（P）源屬于氣態(tài)源的是（）。

A.POCl3
B.P2O5
C.PH3
D.PCl3


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1.單項選擇題?以下哪一項不屬于擴散的局限性？（）

A.工藝簡單
B.高溫、深結
C.不能獨立控制結深和濃度
D.橫向擴散

2.單項選擇題擴散的雜質分布包括（）和有限表面源分布。

A.無限表面源分布
B.雜質總量分布
C.恒定表面源分布
D.表面源分布

3.單項選擇題根據(jù)擴散系數(shù)的定義，其受以下哪個因素的影響最大？（）

A.雜質類型
B.擴散時間
C.雜質激活能
D.溫度

4.單項選擇題擴散的微觀機制包括間隙式擴散和（）。

A.面擴散
B.均勻擴散
C.梯度擴散
D.替位式擴散

5.多項選擇題氧化硅在集成電路制造中有哪些應用？（）

A.屏蔽層
B.柵氧化層
C.犧牲層
D.襯墊層