問答題簡(jiǎn)述化學(xué)氣相淀積的原理？

參考答案： ①氣態(tài)反應(yīng)劑被輸送至反應(yīng)腔，以平流形式向出口流動(dòng)。
②反應(yīng)劑從主氣流區(qū)以擴(kuò)散方式通過邊界層到達(dá)硅片表面。