①金屬-絕緣體-金屬(MIM)結(jié)構(gòu); ②多晶硅/金屬-絕緣體-多晶硅結(jié)構(gòu); ③金屬叉指結(jié)構(gòu); ④PN結(jié)電容; ⑤MOS電容。
(1)機(jī)械支撐和機(jī)械保護(hù)作用。 (2)傳輸信號(hào)和分配電源的作用。 (3)熱耗散的作用。 (4)環(huán)境保護(hù)的作用。
(1)擦洗表面的大塊污物;(2)浸泡;(3)化學(xué)腐蝕;(4)水清洗;(5)干燥。