單項選擇題顯影后,被曝光區(qū)域的光刻膠被去除,該種光刻膠稱為()。
A.負膠
B.正膠
C.光刻抗蝕劑
D.光阻
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1.單項選擇題MOS晶體管的源區(qū)、漏區(qū)及源、漏之間的溝道區(qū)域通常稱為()。
A.有源區(qū)
B.場區(qū)
C.襯底區(qū)
D.阱區(qū)
2.單項選擇題氧化層中摻雜了硼雜質(zhì),一般稱為()。
A.PSG
B.BPSG
C.BSG
D.FSG
3.單項選擇題如果制作柵氧結(jié)構(gòu),一般采用的方法是()。
A.濕氧氧化
B.氫氧合成
C.CVD
D.干氧氧化
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