單項選擇題如果淀積的膜在臺階上過度地變薄，就容易導致高的膜應力、電短路或者在器件中產(chǎn)生不希望的（）。
A. 誘生電荷
B. 鳥嘴效應
C. 陷阱電荷
D. 可移動電荷
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1.多項選擇題采用二氧化硅薄膜作為柵極氧化層，是利用其具有的（）
A.高電阻率；
B.高化學穩(wěn)定性；
C.低介電常數(shù)；
D.高介電強度。
2.單項選擇題微電子器件對加工環(huán)境的空氣潔凈度有著嚴格的要求。我國潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度標準GB50073-2001中，100級的含義是：每立方米空氣中大于等于0.1m的懸浮粒子的最大允許個數(shù)為（）
A.35；
B.100；
C.102；
D.237。