多項(xiàng)選擇題采用二氧化硅薄膜作為柵極氧化層，是利用其具有的（）
A.高電阻率；
B.高化學(xué)穩(wěn)定性；
C.低介電常數(shù)；
D.高介電強(qiáng)度。
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1.單項(xiàng)選擇題微電子器件對加工環(huán)境的空氣潔凈度有著嚴(yán)格的要求。我國潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001中，100級的含義是：每立方米空氣中大于等于0.1m的懸浮粒子的最大允許個(gè)數(shù)為（）
A.35；
B.100；
C.102；
D.237。
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