填空題CMOS工藝中，阱注入的計量為（）量級；源、漏注入的劑量為（）量級；開啟調(diào)整的注入劑量為（）量級 ；場注入的的劑量為（）量級；離子束合成SOI材料SIMOX的O+注入計量為（）量級。

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