單項(xiàng)選擇題刻蝕工藝可以和以下哪個工藝結(jié)合來實(shí)現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移?()

A.氧化
B.離子注入
C.光刻
D.拋光


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1.單項(xiàng)選擇題注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關(guān)?()

A.能量
B.溫度
C.劑量
D.質(zhì)量

2.單項(xiàng)選擇題摻雜后退火時間一般在()。

A.30~60分鐘
B.10~20分鐘
C.60~90分鐘
D.100~120分鐘

5.多項(xiàng)選擇題鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有()。

A.有效柵寬變窄
B.電流減少
C.電容增加
D.電阻增大