問答題電子級poly-Si的純度是多少？比較CZ法與FZ法制備Si單晶的優(yōu)缺點(diǎn)。
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光刻工藝的設(shè)備核心是（）。
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碳納米管場效應(yīng)晶體管是未來晶體管發(fā)展趨勢之一。
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金屬化中可選用的金屬材料有（）。
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互連工藝中AL的制備可選用（）。
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當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。
題型：單項選擇題
鳥嘴效應(yīng)造成的不良影響有（）。
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