問答題影響擴散速率的因素有哪些？

參考答案：

①晶體內(nèi)雜質(zhì)濃度梯度；
②環(huán)境溫度；
③雜質(zhì)本身結(jié)構(gòu)、性質(zhì)；
④晶體襯底的結(jié)構(gòu)。