問答題掩膜版的對準(zhǔn)法則，說明對準(zhǔn)誤差有哪些？

參考答案： ①把所需圖形在晶圓表面上定位或?qū)?zhǔn)
②通過曝光燈或其他輻射源將圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠涂層上
對準(zhǔn)原則：