問答題光刻中采用步進掃描技術(shù)獲得了什么好處？

參考答案： 增大了曝光場，可以獲得較大的芯片尺寸，一次曝光可以多曝光些芯片，它還具有在整個掃描過程調(diào)節(jié)聚焦的能力。