問(wèn)答題硅片關(guān)鍵尺寸測(cè)量的主要工具是什么?
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描述RF濺射系統(tǒng)。
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什么是硅化物?難熔金屬硅化物在硅片制造業(yè)中重要的原因是什么?
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在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么?
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解釋發(fā)生刻蝕反應(yīng)的化學(xué)機(jī)理和物理機(jī)理。
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解釋離子束擴(kuò)展和空間電荷中和。
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例舉并討論引入銅金屬化的五大優(yōu)點(diǎn)。
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什么是摻雜?例舉四種常用的摻雜雜質(zhì)并說(shuō)明它們是n型還是p型?
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光刻中采用步進(jìn)掃描技術(shù)獲得了什么好處?
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