常壓化學(xué)氣相淀積(APCVD., 低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD., 等離子體輔助CVD。
常用膠粘劑有熱固性樹脂、熱塑性樹脂和橡膠型膠粘劑3大類。
晶向偏離度總厚度誤差,平衡度,翹曲度等