填空題光刻膠的三種主要成分是：（）。正膠的感光劑是（），曝光使其（），正膠的曝光區(qū)在顯影后（）； 曝光使負(fù)膠的感光劑（），使曝光區(qū)在顯影后（）。

參考答案： 感光劑、基體材料和溶劑；重氮醌；長鏈分子斷裂；去除；交聯(lián)；保留