問答題例舉并解釋5個(gè)進(jìn)行在線參數(shù)測(cè)試的理由。
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哪種化學(xué)氣體經(jīng)常用來刻蝕多晶硅？描述刻蝕多晶硅的三個(gè)步驟。
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刻蝕工藝有哪兩種類型？簡(jiǎn)單描述各類刻蝕工藝。
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例出光刻的8個(gè)步驟，并對(duì)每一步做出簡(jiǎn)要解釋。
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