單項選擇題以下工藝中，方塊電阻是一個重要的參數，一般用于衡量（）工藝中雜質情況。

A.氧化
B.擴散
C.光刻
D.刻蝕


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1.單項選擇題在制作MOS管時，采用LOCOS工藝容易出現（）。

A.溝道效應
B.鳥嘴效應
C.寄生效用
D.閂鎖效應

5.單項選擇題我們利用LOCOS技術制作MOS中的（）。

A.場氧區(qū)
B.源、漏
C.柵
D.有源區(qū)